單晶爐是一種在惰性氣體環(huán)境中,使用加熱器將多晶材料熔化,用直拉法生長(zhǎng)無錯(cuò)位單晶的設(shè)備。單晶爐在感應(yīng)熔煉中應(yīng)用很普遍，不過作為一種熔煉設(shè)備出現(xiàn)故障是在所難免的，“棒擺”就是一種常見的單晶爐故障，今天小編就和大家分享一下單晶爐出現(xiàn)“棒擺”的原因和解決方法。

　　“棒擺”是專業(yè)術(shù)語，其實(shí)就是同城我們所說的單晶爐晶棒晃動(dòng)，可能發(fā)生在整個(gè)單晶爐拉晶的各個(gè)階段。而產(chǎn)生晶棒晃動(dòng)的原因有很多，到目前為止也沒有一個(gè)確定的答案，但是主要是由于以下幾個(gè)地方出現(xiàn)故障造成的：

　　1.提拉頭，減速機(jī)構(gòu)/旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)或者熱場(chǎng)和軟軸。

　　2.惰性氣體如氬氣在爐內(nèi)的流動(dòng)，爐子的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)出現(xiàn)問題，熱場(chǎng)的設(shè)計(jì)和分布不均勻。

　　3.冷卻系統(tǒng)和真空系統(tǒng)出現(xiàn)故障，硅料和重錘的結(jié)構(gòu)出現(xiàn)偏差。

　　不僅單晶爐的晶棒會(huì)晃動(dòng)，液面也有可能出現(xiàn)抖動(dòng)現(xiàn)象，液面出現(xiàn)抖動(dòng)的原因主要有以下幾點(diǎn)：

　　1.下軸傳動(dòng)部分出現(xiàn)蝸輪斷齒等減速器故障。

　　2.下軸機(jī)械部分出現(xiàn)問題，比如有死點(diǎn)有雜物或者潤(rùn)滑程度不夠等。

　　我們?cè)谑褂玫膯尉t的時(shí)候，不僅要掌握單晶爐操作步驟，而且要能在單晶爐出現(xiàn)故障時(shí)及時(shí)發(fā)現(xiàn)原因并采取有效的應(yīng)對(duì)措施。

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